產品介紹
YAMABALA 超高真空氟素油
當今半導體行業正在蓬勃發展如5G、物聯網(loT)、人工智能(AI)、電動汽車、互聯醫療設備、工業機器人等。這些技術複雜的應用通常需要更快的處理速度和更低的功耗，從而需要更複雜的製造工藝。許多工藝的製造精度現在降至 3 納米以下，這意味著即使是最小的污染物也可能導致產品缺陷和產量損失。這些系統必須可靠運行才能滿足需求。
半導體製造和加工設備通常在高溫和真空下運行，因此需要高性能潤滑劑來保護其製造與高速檢測系統的直線導軌和滑塊、軸承、滾珠和絲桿以及密封件免受磨損。
潤滑劑必須能夠在高溫下保護晶圓廠設備的機械部件而不會蒸發。隨著蒸氣壓的增加到10-8 torr@140°C，在高溫下更容易發生脫氣outgassing。 YAMABALA 的許多真空和潔淨室潤滑劑都經過配製，可在高達250°C的溫度下工作。
潤滑劑脫氣和顆粒產生會污染晶圓廠設備和產品，對產品質量和產量產生負面影響。為避免這些問題，YAMABALA提供具有低釋氣和低顆粒生成特性的高性能特種潤滑脂。YAMABALA專為滿足真空製造環境的需求而設計。這些潤滑劑是化學穩定、無毒、低蒸氣壓的合成潤滑劑，專為滾珠和絲槓、高速軸承、運動控制直線導軌和許多其他半導體製造組件而設計 。
| YAMABALA SF9982N | |
| 基礎油黏度 (ASTM D445) @40°C | 140 |
| 基礎油黏度指數 (ASTM D2270) | 355 |
| 流動點 (ASTM D97) °C | -75 |
| 蒸發損失率(%)22小時後 (ASTM D2595) @204°C |
0.2 |
| 密度 (g/cm3) @20°C | 1.96 |
| 四球磨耗測試 (kg/cm2) 初期燒付荷重 溶蝕荷重 |
640 800 |
| 四球磨耗測試 (1hr, 1200 RPM, 40kg) 平均磨耗直徑 (mm) |
0.45 |
| 蒸氣壓 @20°C @100°C @140°C |
1.6x10-13 Torr 2.8x10-9 Torr 7.5x10-8 Torr |
| 操作溫度範圍 (°C) | -70~250 |
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